• 国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院回应

    近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)

    2023-09-19
  • 国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清:这是北京高能同步辐射光源

    来源:澎湃新闻 近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此,中国电子工程设计院有限公司(下称中国电子院)9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)

    2023-09-18