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薄膜厚度仅1微米,中子探测器关键技术碳化硼薄膜在东莞研制成功
南方财经全媒体记者程浩 东莞报道近日,南方财经全媒体记者从中国散裂中子源获悉,位于东莞松山湖的中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置,成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品,单片面积达到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%,是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。图为中国散裂中子源团队研发的高性能大面积碳化硼薄膜样品(受访单位供图)位于东莞松山湖科学城的中国散裂中子源被誉为观察微观世界的“超级显微镜”,而中子探测器就像这个大科学装置的“眼睛”,用来发现样品的微观结构
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实现国产化!我国研制成功中子探测器用高性能大面积碳化硼薄膜
记者从中国科学院高能物理研究所获悉,近日,中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置,成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品,实现了中子探测器关键技术和器件的国产化。△高性能大面积碳化硼薄膜样品高性能大面积碳化硼薄膜单片面积达到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%,是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜